Utløsing av materiale fra en fast eller flytende overflaten som følge av virkningen av energisk ioner, atomer eller molekyler. Sputtering ble først oppført i 1853 ved W. R. Grove og i 1854 av M. Faraday som forekomsten av en metallisk belegg på glassvegger av en utladning rør. E. Goldstein i 1902 viste at den sputtering effekten ble forårsaket av positiv ioner av utslippet slående katoden og utkasting katode materiale. Sputtering nå er grunnlaget for et stort utvalg av metoder for syntese og analyse av materialene.